KD-1200-430/750/950MT系列晶圆兆声波清洗机用于6寸晶圆的前清洗,采用日本原装进口的振板和发生器制作。可提供6/8/12寸晶圆尺寸的清洗功率。发振器不做任何更改即可使用不同频率机型。四种发振模式,使高精密清洗成为可能;0.1W为输出功率单位,更易于控制清洗损伤。
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