重庆荣耀电子半导体晶圆载盒清洗机是我司在2015年研制开发针对半导体行业晶圆载盒的专用清洗机,目前已经在多级晶圆载盒生产厂家批量投产,可兼容4寸、6寸、8寸等规格的晶圆载盒清洗,结合晶圆载盒高洁净度要求,槽体、管路级喷嘴等均选用专用材质,同时实现在较低的温度下,实现工件的干燥。
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