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做“好用、好修、好造、好看“的四好的清洗设备。
适用于半导体晶圆/液晶/HDD等的微细颗粒的去除，是晶圆片清洗首选频率。
制作精良
采用日本原装进口发振器和振动板制作而成。
依据振动板尺寸进行专业设计，外型美观。
采用优等级316不锈钢板材制作。
控制精细
采用数字控制实现了稳定的发振。
可以1W为单位进行超声波输出功率的调整。
VFD(荧光显示管)显示，具有清晰的可视性。
晶圆清洗
1Mhz为晶圆片清洗的首选频率。
专为6寸和8寸晶圆片清洗定制。
洗精度达到0.2~1μm。
对工件的损伤小。
接口丰富
可根据需要实现与清洗设备的连接和控制。
采用SiC MOS FET实现了发振器小型化和高信赖度
产品规格
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