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做“好用、好修、好造、好看“的四好的清洗设备。
半导晶圆盒专用。
精密清洗
可兼容多种规格晶圆盒清洗。
高洁净度材料制作保证清洗高洁净度。
低温、大风量、高洁净度风源保证干燥洁净度。
出口与洁净房对接保证清洗终端洁净度。
领先的超声技术
换能器电声转化效率高达 90%以上。
自动追频精度1Hz，接近国际先进水平。
自带分频扫频功能，频率可切换。
支持485通讯和PLC远端控制（可选）。
先进工艺
多频率超声全面覆盖去除不同微米级颗粒。
结合涌流清洗，使细微颗粒彻底与工件分离。
夹持式机械手传动，定位精确，运行稳定高效。
PLC自动控制，自动化程序高。
批量使用
针对晶圆盒高精密的清洗需求专业设计。
具备非常成熟的工艺设计。
已在多家晶圆盒厂批量使用。
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